一. 洁净室概览

随着全球AI算力需求爆发，上游半导体产业迎来扩产周期，而洁净室则是晶圆制造、封装测试等环节的刚需基建。

洁净室是通过各类技术手段，将空间内悬浮微粒、分子污染物（AMC）、温湿度、微振动、静电、压差等参数进行精准管控的密闭受控环境。

1.1 核心目标

为半导体制造提供零污染、高精度、高稳定性的生产环境，确保芯片良率和性能：

（1）污染物控制：防止尘埃、金属离子、微生物等污染晶圆表面，影响芯片电路性能。

（2）环境参数稳定：精确控制温度、湿度、气压、微振动、静电等参数，满足光刻、刻蚀等精密工艺需求。

1.2 分类及应用场景

（1）按空气颗粒物数量划分（按ISO 14644-1标准，共9个等级）

ISO 1-3级：适配先进制程光刻、刻蚀等工艺区域。

ISO 4-5级：适配成熟制程光刻、刻蚀、先进封装等工艺区域。

ISO 6-8级：适配传统封测、CMP抛光、晶圆清洗等工艺区域。

（2）按气流组织划分

单向流（垂直或水平气流覆盖全室，用于ISO 1-5级洁净区，确保污染物快速排出）、非单向流（用于中低级别洁净区）。

1.3 核心配套环节

（1）空气净化系统（HVAC）：价值量占比最高，包括新风机组、风机过滤单元（FFU）、超高效过滤器（HEPA/ULPA）等。

（2）围护结构系统：防静电彩钢板、环氧地坪、气密门窗、高架地板（微振动隔离）。

（3）高纯流体系统：特气管路、超纯水管路、化学品输送管路、真空系统，保障生产用高纯介质密闭输送，避免二次污染。

（4）三废治理系统：废气处理、废水处理、废液回收系统，保障排放合规。

（5）环境监控系统：粒子在线监测、温湿度压差传感、静电消除、微振动控制、消防排烟系统。

二. 国内供应格局

（1）EPC总包

洁净室通常采用EPC模式：总包商提供设计、采购、施工、调试、运维一体化服务，按项目进度结算，经验壁垒高，深度绑定晶圆或封测厂。

太极实业：旗下十一科技主营半导体工程设计与EPC，深度绑定台积电；旗下海太半导体主营芯片封测，深度绑定SK海力士。

亚翔集成：国内半导体洁净室EPC头部厂商，技术指标满足ISO1级需求，配套先进制程要求，客户包括中芯、长x、长j、三星。

圣晖集成：台资背景洁净室全流程服务商，覆盖半导体、PCB、生物医药洁净室工程，客户包括英诺、中芯、华虹。

柏诚股份：主营半导体、面板、生物医药洁净室系统，客户包括华虹、京东方、SK海力士。

（2）设备/部件配套

美埃科技：洁净装备国产化龙头，提供高效过滤器（HEPA/ULPA）、风机过滤单元（FFU）、化学过滤设备等。

至纯科技：主营高纯工艺系统及湿法清洗设备，聚焦超高纯流体介质输送，包括特气输送系统、化学品输送系统、真空系统等。

盛剑科技：主营半导体废气治理系统、温控设备、真空泵，配套洁净室AMC分子污染治理与排气处理系统。