根据芯谋研究的数据，中国半导体设备市场规模2023年达到342亿美元，其中本土设备40亿美元，占比11.7%；2024年有望达到375亿美元，其中本土设备51亿美元，占比预计提升至13.6%。

天风证券对此认为，尽管本土设备销售规模持续快速增长（2024年预估同比增27.5%），但是目前金额上看占比仍不足15%，预计未来在核心工序设备的研发突破有望进一步提升国产替代比率，结构上，或可关注先进制程设备在AI拉动下的需求提升，复苏角度或可关注后道封测设备受益于封测厂景气度逐季提升带来的订单增长。

半导体设备ETF（561980）追踪中证半导指数，主要聚焦40只半导体设备、材料等上游产业链公司，前十大成份股分别为北方华创、中微公司、中芯国际、海光信息、韦尔股份、拓荆科技、华海清科、长川科技等，合计占比约76%，指数集中度相对较高。

行业分布上更侧重上游设备、材料等，其中“半导体设备”占比近55%，为目前有ETF跟踪半导体主题指数中“设备”含量最高的。

半导体设备ETF基金全称：招商中证半导体产业交易型开放式指数证券投资基金。

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中证半导体产业指数近五年表现分别为85.59%(2019)、83.00%(2020)、30.00%(2021)、-29.65%(2022)、-3.90%（2023）。中证半导体产业指数由中证指数有限公司编制和发布。指数编制方将采取一切必要措施以确保指数的准确性，但不对此作任何保证，亦不因指数的任何错误对任何人负责。指数过往业绩不代表其未来表现，亦不构成基金投资收益的保证或任何投资建议。指数运作时间较短，不能反映市场发展的所有阶段。