一. 驱动逻辑

截至2026年6月下旬，半导体级氢氟酸（G5级）市场价格较年初累计上涨 20%~30%，核心驱动来自两方面：

（1）上游萤石、硫磺（硫酸原料）价格上涨，无水氢氟酸（AHF）原料成本大幅上涨。

（2）韩国三星电子、SK海力士为产能扩张提前备货，韩国本土产能缺口较大，大幅增加中国高纯氢氟酸及AHF采购量。

二. 氢氟酸概览

氢氟酸是氟化氢（HF）的水溶液，属于氟化工基础原料，下游应用广泛，包括制冷剂、含氟聚合物、氟盐、电子化学品等领域。

2.1 原材料及制备工艺

（1）原材料：基础原料为萤石粉、硫酸；中间品为无水氢氟酸（AHF）。

（2）制备流程：粗氟化氢合成→多级精馏提纯→亚沸蒸馏精制→稀释调配→超净过滤与灌装→检测分级。

2.2 按纯度分类

（1）工业级氢氟酸：杂质含量高，用于AHF制备、氟制冷剂、含氟塑料/橡胶、金属酸洗、玻璃蚀刻等场景。

（2）电子级氢氟酸：纯度5N-9N，是高端电子制造的核心耗材；按SEMI 标准分为G1-G5五个等级，适配面板、光伏、半导体场景。

三. 半导体级氢氟酸详解

半导体级氢氟酸属于G4、G5级（先进制程），经多级提纯、超净过滤制备而成，在晶圆制造中作为湿电子化学品使用。

3.1 应用场景

（1）湿法刻蚀：通过与二氧化硅的特异性反应，刻蚀晶圆表面的氧化层、氮化层，形成栅氧化层、接触孔、浅沟槽隔离等结构。

（2）晶圆清洗：去除晶圆表面的金属杂质、颗粒残留、氧化层，是沉积、光刻、刻蚀等工序前后的必备清洗步骤。

3.2 市场格局

G4-G5级市场过去长期由日本厂商垄断，包括星辰化工、森田化学、大金工业等，近年来我国厂商份额持续提升。

（1）无水氢氟酸（AHF）

巨化股份：氟化工、氯碱化工国内头部厂商，无水氢氟酸年产能25万吨国内第一，同时持有中巨芯26.4%股权，间接布局半导体级氢氟酸。

永和股份：氟化学品国内头部厂商，无水氢氟酸年产能18万吨。上游萤石资源储量国内第二。

三美股份：主产氟化工产品，无水氢氟酸年产能13万吨，联营企业森田新材料布局半导体级氢氟酸。

（2）半导体级氢氟酸

多氟多：主营无机氟化物、新能源电池及材料；半导体氢氟酸年产能4万吨国内第一，G5级产品供货台积电、长鑫。

中巨芯：主营湿电子化学品、电子特气、前驱体材料；半导体氢氟酸年产能3万吨，供货SK海力士、长芯、华虹。