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公司问答丨恒坤新材:公司SOC产品核心评估指标良好 能够满足先进NAND、DRAM存储芯片制造工艺、先进逻辑制程制造工艺需求
格隆汇5月25日|有投资者在互动平台向恒坤新材提问:与国际同行相比,公司的SOC/BARC产品在性能、方面有哪些竞争优势?恒坤新材回复称,1、SOC(碳膜涂层):公司SOC产品核心评估指标良好,能够满足先进NAND、DRAM存储芯片制造工艺、先进逻辑制程制造工艺需求。2、BARC(底部抗反射涂层):公司BARC具备良好的光反射控制,可调节刻蚀速率,与光刻胶良好兼容,能够适配浸没式光刻工艺以及FinFET工艺中特殊需求。
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