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比利时半导体研究机构获阿斯麦High NA EUV设备,助攻产业发展
格隆汇3月19日|比利时半导体研究机构IMEC表示,已取得一台阿斯麦High NA极紫外光(EUV)微影设备,价值约4亿美元。这款设备全球仅有不到十台,被视为下一代芯片制造的重要关键设备,将协助产业推进更先进制程技术的研发与测试。IMEC指出,这台High NA EUV设备将成为其NanoIC试产线的核心设备。该试产线总投资规模达25亿欧元,其中约14亿欧元来自公共资金,包括欧盟《芯片法》提供的支持。IMEC长期采用共享研发模式,让半导体企业与研究机构在类似晶圆厂的环境中,共同测试并开发最新制造技术。
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