
供需矛盾持续演绎:六氟化钨国内供应商梳理
一. 驱动逻辑
六氟化钨(WF₆)是半导体CVD制程中沉积钨膜主流前驱体气体,下游AI算力需求驱动全球存储晶圆大规模扩产,芯片制程迭代抬升单晶圆用量;
中国钨原料出口管制造成日本两大WF₆厂商大幅减产,中期供给缺口显著;供需错配叠加钨粉价格上移,26年国内外WF₆价格大幅上行。

二. 需求端:受益存储扩产周期+工艺迭代抬升单耗
ChinaIOL数据显示,全球WF₆消费量由20年4600吨增至25年8900吨,复合增速14%,2030年有望达15000吨,年复合增速预计11%。
(1)海内外晶圆厂扩产
海外:三星扩建平泽P4、光州NAND基地;SK海力士514亿美元新建清州NAND工厂;美光93亿美元扩建日本广岛DRAM/HBM产线。
国内:长江存储武汉三期进入设备安装阶段;长鑫拟IPO募资295亿元扩建DRAM/HBM产线;中芯、华虹、晶合、粤芯等晶圆厂持续扩产。
(2)工艺迭代抬升单耗
3D NAND:垂直堆叠架构每一层字线均需WF₆填充,从128层向300层以上迭代,单片用量大幅提升;
HBM:互连密度、接触孔数量远超普通DRAM,单耗显著高于标准存储;
先进逻辑芯片:7/5/3nm制程晶体管密度提升,接触孔数量增加,单片耗材稳步上行。
三. 供给端:日系产能刚性收缩,国产替代迎来窗口
(1)国内钨出口管制造成日系减产,供给缺口刚性显现
当前全球WF₆总产能约9200吨,日本关东电化+Central硝子产能占比25%,韩国SK Specialty+Foosung产能占比25%-30%,过去海外头部晶圆厂高度依赖日韩货源。
中国钨资源占全球供给80%以上,因两用物项出口管制,日本两大供应商已正式通知台积电、三星、SK海力士下半年供应无法保障。
电子特气晶圆厂供应商导入周期长达2-5年,纯化工艺、杂质控制、连续稳定量产能力构成多重技术壁垒,预计缺口中期难被补齐。
(2)国产企业迎份额提升机遇
当前已具备供货能力的国产企业份额将充分受益于日系产能降低,迎来份额提升+享受国际定价的窗口期。
四. 价格端:供需错配+钨粉上涨双重驱动
根据中国海关数据,26年2-6月WF₆出口单价分别为69、117、150、211、232美元/kg。
国内现货市场6月5N级WF₆报价1670-1810元/公斤,同比上涨232%;6N产品报价220-300万元/吨,较4月初涨幅超190%;7N长协价330-360万元/吨。
行业调价机制由年度长协调价,逐步切换为季度、月度联动调价,原料上涨可快速向下游晶圆厂传导;部分海外客户已提出长协锁定订单,价格让步换取增量供应保障,国产产品盈利空间持续拓宽。
五. 国内供应格局
中船特气:六氟化钨年产能2000吨,新增1000吨预计2027年投产;已完成台积电、美光、SK海力士、铠侠、英飞凌等头部晶圆厂认证。
昊华科技:六氟化钨年产能600吨,供货国内多家主流半导体厂商;电子特气业务(三氟化氮、六氟丁二烯等)布局全面。
中巨芯:六氟化钨年产能600吨,深度绑定中芯、华虹等本土核心晶圆厂。
和远气体:500吨/年六氟化钨产线已建成,目前处于试运行、客户送样认证阶段。
SH 中船特气
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