一. PFA概览

PFA俗称可熔融性聚四氟乙烯，是由四氟乙烯（TFE）与全氟丙基乙烯醚(PPVE)共聚而成的高性能氟塑料。

PFA为解决PTFE无法熔融加工的缺点而开发，在保留PTFE优异性能的同时具备热塑性树脂的可加工性。

1.1 核心特点

（1）耐化学腐蚀性：对几乎所有化学试剂（强酸、强碱、有机溶剂）均表现出惰性。

（2）耐高低温性：长期连续使用温度范围宽达-200°C至+260°C。

（3）熔融加工性：可采用注塑、挤出、吹塑等热塑性工艺，能制造出高精度的复杂零部件。

（4）抗粘性：摩擦系数极低，表面能低，不易粘附金属离子或有机物，是高纯物质输送的理想材料。

1.2 原材料及制备工艺

（1）原材料：TFE（核心单体）、PPVE（共聚单体）、引发剂与链转移剂（控制聚合反应速率和分子量分布）

（2）PFA的生产工艺复杂，核心步骤包括：PPVE制备、聚合反应（主流为乳液聚合法）、凝聚与洗涤、干燥与脱挥等。

1.3 分类

（1）通用级（工业级）：6-8N，用于工业防腐衬里（阀门、泵、管道衬里）、化工管件。

（2）高纯级（电子级）：9-10N，用于电子元器件、电线电缆绝缘层、航天航空导线、高温线束。

（3）超纯级（半导体级）：11N+，用于半导体晶圆制备、超纯化学品输送系统。

二. 超纯PFA在半导体制备场景中的应用

在半导体制造中，超纯PFA凭借耐强腐蚀、高纯度、低析出特性，广泛用于整个湿法工艺流体系统。

（1） 湿法清洗/刻蚀/CMP设备

在晶圆清洗、刻蚀、抛光过程中，需要用到大量强腐蚀性化学品（如氢氟酸 、硫酸、过氧化氢）。

超纯PFA被用于制造这些设备内部的晶圆花篮、清洗槽、喷嘴、喷淋管内衬，在承受强酸强碱清洗的同时，不会对晶圆造成二次污染。

（2）化学品/超纯水/电子特气输送系统

在中央化学品供应系统（CDS）中，超纯PFA被用于制造输送电子级化学品、超纯水、特种气体的软管、接头、阀门、泵体、过滤壳体。

三. 超纯PFA市场格局

全球超纯PFA长期被美日巨头垄断，市场价格高昂、头部厂商包括：科慕（美）、大金工业（日）、索尔维（比）、AGC（日）。

随下游晶圆产能增长叠加制程演进，超纯级PFA全球缺口将进一步放大。

巨化股份：建成投产1万吨超纯PFA，经下游半导体客户测试验证，通过SEMI F47、SEMI F57国际标准认证，已开始实现批量出货。

永和股份：年产3000吨高纯 PFA项目已进入试生产及爬坡阶段，并实现萤石、四氟乙烯、PPVE、PFA树脂的全产业链一体化布局。

昊华科技：依托旗下晨光院的军工与科研背景，投建500吨PFA项目，目前以工业级/电子级为主，11N半导体级仍在研发中。