晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶

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据晶盛机电消息,7月20日,晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶。这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后,又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展,为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障。

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