
半导体前道材料(晶圆制造):七大环节国产化率及厂商梳理
一. 半导体前道材料
半导体材料按工艺环节,可分为前道(晶圆制造)材料、后道(封装测试)材料。
前道材料占据70%市场规模,主要包括七大类:硅片、掩模版、光刻胶、湿电子化学品、抛光材料、电子特气、靶材。

二. 七大细分环节梳理
2.1 硅片
(1)作用:半导体制造基底材料,支撑后续光刻、蚀刻等工艺,形成晶体管和电路结构。
(2)组成:由高纯度单晶硅(9N以上)经切割、研磨等工艺制得。
(3)分类:按尺寸分为8英寸、12英寸等;按工艺分为抛光片、外延片、SOI硅片。
(4)全球格局:CR5超90%,包括信越化学(日)、SUMCO(日)、环球晶圆(台)、Siltronic(德)、SK Siltron(韩)。
(5)国内头部:沪硅产业、立昂微、有研硅。
2.2 掩膜版(光罩)
(1)作用:光刻工艺中的图形转移母版,承载着设计好的电路图案。
(2)组成:由石英玻璃基板、金属铬层、感光胶层组成,通过电子束刻蚀出电路图形。
(3)全球格局:CR5超95%,包括Photronics(美)、Toppan(日)、DNP(日)等。
(4)国内头部:聚和材料、路维光电、清溢光电。
2.3 光刻胶
(1)作用:光刻工艺中的感光介质,涂覆在晶圆上,曝光后溶解度变化,显影后留下电路图案,实现图形转移。
(2)组成:由树脂、感光剂、溶剂、添加剂组成。
(3)分类:按曝光波长分为EUV胶、ArF/KrF胶(DUV)、G/I线胶(UV)。
(4)全球格局:CR5超90%,包括JSR(日)、东京应化(日)、信越化学(日)、富士胶片(日)、杜邦(美)。
(5)国内头部:南大光电、上海新阳、晶瑞电材、彤程新材。
2.4 湿电子化学品
(1)作用:超净高纯化学试剂,用于晶圆清洗、蚀刻、显影等工艺。
(2)分类:清洗液、蚀刻液、剥离液、显影液等。
(3)全球格局:CR5超80%,包括关东化学(日)、巴斯夫(德)、霍尼韦尔(美)、三菱化学(日)。
(4)国内头部:中巨芯、格林达、江化微。
2.5 抛光材料
(1)作用:用于化学机械抛光(CMP)工艺,实现晶圆表面纳米级平整。
(2)分类:抛光垫、抛光液。
(3)全球格局:抛光液CR3超90%(卡博特、日立、Fujimi);抛光垫 CR2超90%(陶氏、卡博特)。
(4)国内头部:鼎龙股份(抛光垫)、安集科技(抛光液)。
2.6 电子特气
(1)作用:高纯度特种气体,用于蚀刻、薄膜沉积、掺杂、清洗等工艺。
(2)分类:全领域超百种,分为蚀刻气、沉积气、清洗气、掺杂气等。
(3)全球格局:CR4超80%,包括林德集团(德)、液化空气(法)、空气化工(美)、大阳日酸(日)。
(4)国内头部:中船特气、华特气体、雅克科技、金宏气体。
2.7 靶材
(1)作用:物理气相沉积(PVD)工艺中的粒子源,靶材原子被溅射并沉积形成薄膜,用于互连层、阻挡层、导电层制备。
(2)分类:金属靶材(铝靶、铜靶、钛靶、钨靶等)、合金靶材、陶瓷靶材。
(3)全球格局:CR5超80%,包括日矿金属(日)、东曹(日)、霍尼韦尔(美)等。
(4)国内头部:江丰电子、有研新材、欧莱新材。
SZ 江丰电子
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