一. 洁净室概览

洁净室作为受控环境空间，通过精密过滤、温湿度调节、气流管理等技术，将空气中的微尘、微生物、分子污染物等控制在极低水平。

1.1 核心目标

为半导体制造提供零污染、高精度、高稳定性的生产环境，确保芯片良率和性能：

（1）污染物控制：防止尘埃、金属离子、微生物等污染晶圆表面，影响芯片电路性能。

（2）环境参数稳定：精确控制温度、湿度、气压、微振动、静电等参数，满足光刻、刻蚀等精密工艺需求。

1.2 分类及应用场景

（1）按单位体积空气中颗粒物数量划分

ISO 14644-1标准分为9个等级，如1级（光刻、蚀刻）、3级（离子注入、化学气相沉积）、6级（封装测试）。

（2）按气流组织划分

单向流（垂直或水平气流覆盖全室，适用于ISO 1-5级，确保污染物快速排出）、非单向流（适用于封装测试、物料区）。

1.3 核心环节

（1）空气过滤系统：HEPA/ULPA过滤器去除微粒，化学过滤器吸附气态污染物。

（2）环境控制系统（HVAC）：调节温湿度、气压等，通过循环风维持洁净度。

（3）风机过滤单元（FFU）：天花板覆盖式设计，提供单向流洁净空气。

（4）洁净门/传递窗：人员和物料进出时进行净化，去除表面颗粒。

（5）围护结构：采用高密封性、不产尘、防静电材料建造，包括防静电地板/墙板等。

二. 国内供应商

亚翔集成：提供半导体洁净室全流程解决方案，客户包括中芯国际、长J存储、三星。

圣晖集成：主营半导体、生物医药洁净室工程，客户包括英诺赛科、中芯国际、华虹公司。

柏诚股份：主营半导体、面板、医药洁净室系统，客户包括台积电、京东方、长X存储。