北方华创(002371.SZ)：公司ALE设备已实现多项工艺应用

6小时前

格隆汇8月11日丨北方华创(002371.SZ)在互动平台表示，公司ALE设备已实现多项工艺应用。ALE核心原理是以单原子层为单位，通过“表面吸附—反应去除”的分步循环反应，逐层精准去除材料表面原子，从而实现高精度、高均匀性且低损伤的刻蚀过程。