普达特科技(00650.HK)获多家晶圆厂订单 OCTOPUS清洗设备切入28nm产线

格隆汇10月28日丨普达特科技(00650.HK)公告，公司已收到来自两家高质量半导体客户对12英寸单片晶圆清洗设备OCTOPUS的采购订单。其中一家客户为12英寸晶圆代工厂，将购买两台OCTOPUS设备，用于28nm制程的关键清洗道次；另一家客户为12英寸高性能模拟与功率器件晶圆厂，将购买一台OCTOPUS设备与一台6至12英寸单片晶圆清洗设备CUBE。除上述订单外，近期公司亦新增三台CUBE设备的订单，均来自功率器件客户，其中一台已交付至客户。该等订单的收入暂未确认。据董事会经做出一切合理查询後所深知、尽悉及确信，于公告日期，该等客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。

公司自主研发的该OCTOPUS单片晶圆清洗设备，对标国际龙头设备供应商，应用于12英寸晶圆规模化产线，覆盖Solvent、RCA、背面清洗等半导体清洗的主要工艺。该设备标配16腔或8腔，通过采用化学供液系统和工艺腔室的集成化等创新设计，可实现更高的产能、更灵活的工艺配置与更低的成本，为客户提供更具性价比的解决方案。在产业化方面，该设备前期已获得来自多个客户的订单，并已成功通过验收。未来公司将继续致力于完成该设备的订单交付与验收，并充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势，扩大高质量半导体客户在关键应用领域对我们的设备的采用。