英诺激光(301021.SZ)：应用于硅基半导体检测制程的深紫外激光器已实现出货

格隆汇6月24日丨英诺激光(301021.SZ)在投资者互动平台表示，2024年公司半导体业务同比显著增长。公司已连续多年向 SHI 公司批量供应碳化硅退火制程的紫外激光器；应用于硅基半导体检测制程的深紫外激光器已实现出货，开拓了中科飞测等三家客户；应用于 FC-BGA 先进封装的 ABF 载板超精密钻孔设备正接受客户打样。