中微公司(688012.SH)：积极布局超低温刻蚀技术

2025-06-23 16:25

格隆汇6月23日丨中微公司(688012.SH)在互动平台表示，公司针对超高深宽比刻蚀自主开发的具有大功率400kHz偏压射频的Primo UD-RIE已经在先进的存储器件生产线至关重要的超高深宽比刻蚀工艺中取得大规模应用。同时，公司积极布局超低温刻蚀技术，以满足超高深宽比刻蚀技术迭代的需求。