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拓荆科技(688072.SH)：研制的PECVD设备不用于SiC外延片衬底制造
2025-06-05 16:10
格隆汇6月5日丨拓荆科技(688072.SH)在互动平台表示，公司研制的PECVD设备不用于SiC外延片衬底制造，但可以用于SiC衬底的芯片制造，公司PECVD设备可以通过控制气流场、射频场、温度场的分布有效改进薄膜生长速率均匀性。
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