润欣科技(300493.SZ)：已参与投资建设国内首个8英寸PZT薄膜化MEMS生长与加工平台

格隆汇5月9日丨润欣科技(300493.SZ)于2024年05月09日召开业绩说明会，就“在PZT压电薄膜工艺研究及平台建设项目上的投资回报预期是怎样的？”，公司回复称，项目支撑PZT压电薄膜沉积共性关键技术，包括低应力压电堆积薄膜沉积工艺、高机电耦合MEMS工艺、多层压电薄膜沉积，已参与投资建设国内首个8英寸PZT薄膜化MEMS生长与加工平台，为传感器厂商提供加工与工艺测试服务。项目预期2025年量产。