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天准科技(688003.SH)：Muetec的掩膜检测设备已可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度
2023-05-29 16:30
格隆汇5月29日丨有投资者在投资者互动平台向天准科技(688003.SH)提问，“日本对euv掩膜版设备进行了限制，MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代”
公司回复称，Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺，目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。
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