大族激光(002008.SZ)：目前光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm

格隆汇2月24日丨大族激光(002008.SZ)于2023年2月20日-2月24日接受机构调研时表示，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。