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15:03公司问答丨联合化学:米莱芯程上月交付产品为i-line照明系统及物镜系统 相关产品适配成熟制程光刻工艺设备
格隆汇8月10日|有投资者在互动平台向联合化学提问,米莱芯程上个月底发岀的设备可以用在国产DUV光刻机吗?联合化学回复称,米莱芯程上月交付产品为i-line照明系统及物镜系统,i-line属于365nm波长紫外谱线(UV),相关产品适配成熟制程光刻工艺设备,应用场景覆盖集成电路制造、先进封装、光伏面板生产等领域。
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