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公司问答丨国林科技:用于半导体湿法清洗的各类设备已完全量产获取重复性订单 用于薄膜沉积的设备也取得阶段性重大验证成果获取小批量订单
格隆汇7月23日|有投资者在互动平台向国林科技提问,公司薄膜沉积设备推进情况如何了?国林科技回复称,子公司国林半导体自主研发并掌握了半导体行业专用臭氧发生技术、臭氧电源技术、自动化控制技术、臭氧水混合技术、臭氧检测以及高纯介质材料加工等一系列臭氧装备的关键核心技术,可满足半导体行业对于高浓度、高精度、高纯度、高稳定性的应用需求。目前,用于半导体湿法清洗的各类设备已完全量产获取重复性订单,用于薄膜沉积的设备也取得了阶段性重大验证成果获取小批量订单,各系列产品已重复交付多家客户运行中。该部分业务占主营业务收入比重较低,具体经营情况请关注公司定期报告。
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