格隆汇5月20日｜受相关传闻影响，A股市场光刻机概念股集体拉升，截至半日收盘，中船特气涨超13%，国风新材、晶方科技、张江高科10CM涨停，茂莱光学、苏大维格涨超9%，杭华股份涨超8%，冠石科技、艾森股份涨超7%，华特气体、瑞联新材、广立微涨超6%，东材科技、联泓新科、安集科技、盛剑科技、晶瑞电材、国林科技、波长光电、强力新材、雅克科技涨超5%。