格隆汇5月14日｜A股市场光刻机概念股表现强势，其中，中船特气涨近20%，旭光电子、肯特催化10CM涨停，美迪凯、英唐智控涨超8%，华特气体、联泓新科涨超7%，中巨芯-U涨超5%，怡达股份、中润光学、常青科技、国林科技、雅克科技、高盟新材涨超4%。